5軸ジェット塗布装置
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凹部、角部、曲面等の塗布困難エリアに液剤を塗布するために開発された 卓上型５軸ジェット塗布装置です。 XYZ軸のみならず、360°旋回するR軸、±20°まで傾斜可能なS軸を加えて、 5軸を同時に制御することによって、あらゆる方向から塗布ができます。
主な用途 ①半導体チップと基板の角に樹脂を塗布することにより、上からの塗布に比べ、 フィレットを小さくできる。 ②パネルやガラスを貼り合わせした後、端面凹部へ防湿剤・封止材を塗布。 ③孔や溝の内壁面へ樹脂・接着剤を斜め上からコーティング ④複雑な立体物の曲面や斜面に対し、面に追従しながら塗布。
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5軸塗布ヘッド |
スペック
| X/Y軸速度 | 800mm/s |
|---|---|
| Z軸速度 | 320mm/s |
| R軸旋回角度 | 0～360° |
| R軸旋回速度 | 800°/s |
| S軸傾斜角度 | ０～±20° |
| 耐過重 |
Y軸テーブル：11kg, Z軸：6kg |
| 標準装備 |
トップビューカメラ 高さセンサー 5軸ビジョンティーチング |
| オプション機能 |
サイドカメラ レーザーセンサー ノズル洗浄機構 UV照射器 |
